价值投资日志 电子特气（含六氟化钨）电子特气是半导体制造的关键电子化学品，广泛用于晶圆制造的刻蚀、沉积、清洗等核心环节，是芯片生产的“血液”，其国产化直接关系到半导体产业链的自主可控。二、细分赛道&核心标的1. 六氟化钨（WF₆，半导体制造核心电子特气）- 中船特气：年产2000吨/年，六氟化钨全球覆盖率70.31%，全球龙头，国产替代核心标的- 昊华科技：产能600吨/年，产品应用于半导体制造- 中炬芯：产能600吨/年- 和远气体：有年产500吨六氟化钨生产装置- 至纯科技：子公司南通至纯经营范围包括六氟化钨2. 二氯二氢硅（DCS，半导体外延生长核心特气）- 三孚股份：批量供应电子级二氯二氢硅，产能850吨/年- 和远气体：试生产电子级二氯二氢硅，产能300吨/年- 金宏气体：试生产电子级二氯二氢硅，产能200吨/年- 华塑股份：电子级二氯二氢硅已完成可行性研究，规划产能500吨/年- 中国中冶：下属中硅高科转型升级项目，主要产品包含电子级二氯二氢硅3. 三氟化氮（NF₃，半导体刻蚀/清洗核心特气）- 中船特气：产能18500吨/年，全球覆盖率65.03%，全球龙头- 南大光电：产能8300吨/年，国内电子特气龙头之一- 华特气体：新募投项目拟建产能1000吨/年，产品覆盖多种电子特气- 昊华科技：年产5000吨/年，在建产能6000吨/年- 广钢气体：正筹建3000吨电子级三氟化氮项目4. 六氟丁二烯（C₄F₆，先进制程刻蚀核心特气）- 昊华科技：产能1200吨/年，全球第一- 中船特气：产能200吨/年- 中炬芯：175吨/年电子级六氟丁二烯项目已建成- 华特气体：在建项目有年产300吨六氟丁二烯合成项目- 金宏气体：在建产能200吨/年5. 其他电子特气&配套设备（1）其他电子特气- 凯美特气：电子特气包括超高纯气体和光刻气，通过ASML子公司认证- 雅克科技：子公司生产高纯四氟化碳、六氟化硫等，应用于半导体蚀刻环节- 桥源股份：高纯氮气、高纯氩气应用于半导体制造领域，已与多家半导体产业链企业合作- 建业股份：超纯氨产能13000吨- 三孚股份：年产500吨电子级二氯二氢硅及年产1000吨电子三氯氢硅（2）配套设备- 杭氧股份：国内空分设备市占率第一，2024年空分设备营收45.25亿元- 福斯达：2024年空分设备营收19.17亿元📊 赛道优先级（从短期弹性到长期价值）优先级 赛道 核心逻辑 代表标的1 六氟化钨 事件催化最直接，国产替代紧迫性最强 中船特气、昊华科技2 三氟化氮 半导体制造刚需，全球龙头优势明显 中船特气、南大光电3 六氟丁二烯 先进制程核心特气，全球龙头稀缺性高 昊华科技4 二氯二氢硅 外延生长核心特气，国产替代空间大 三孚股份5 配套设备 电子特气生产核心装备，直接受益产能扩张 杭氧股份