国内能做半导体玻璃基板(TGV,即玻璃通孔)的企业,已形成从设备、制造到封装的完整产业链。TGV是在玻璃基板上制作巨量微米级通孔,以实现垂直电气互连,打孔精度和工艺是核心门槛。
🔧 核心设备供应商(提供“打孔”设备)
· 帝尔激光 (300776):TGV激光微孔设备绝对龙头,已实现晶圆级和面板级TGV封装激光技术全面覆盖,完成面板级玻璃基板通孔设备出货,设备已出口。· 华工科技 (000988):TGV激光加工智能装备已完成整机定型,核心部件实现100%国产化。· 德龙激光 (688170):在TGV工艺方面深耕多年,相关设备已形成销售。· 其他设备相关:大族激光等激光设备龙头也具备技术储备。
🧬 TGV玻璃基板制造与封装
· 沃格光电 (603773):国内少数掌握TGV全制程能力的企业。通孔孔径最小3微米、深径比150:1,支持四层线路堆叠,具备年产10万平方米的智能化产线,光模块产品已批量送样。· 长信科技 (300088):已完成造孔工艺开发,具备稳定的通孔加工能力,并掌握了微孔金属化填充和玻璃线路制备技术,中试线搭建中,已向客户送样。
🏭 产业链上下游及其他相关企业
· 上游/材料:光华科技(002741)研发TGV金属化填孔工艺与配套材料。· 下游/面板龙头:京东方A(000725)已建成TGV特色的8英寸新型试验线,突破高深宽比TGV技术。· 其他TGV技术企业:厦门云天半导体(未上市)晶圆级封装出货量已突破2万片,突破4微米孔径;三叠纪科技(迈科科技子公司)率先提出“TGV3.0”,突破亚10微米通孔;佛智芯(未上市)最小孔径可达1微米,深径比150:1。
风险提示:部分公司的TGV业务尚处于中试、送样或验证阶段,营收占比较小,产业化进程存在不确定性。
整体看,国内TGV产业链已基本打通,从设备到制造都有具备竞争力的选手。随着AI算力对先进封装需求的爆发,这个方向值得长期跟踪。