【石英之下：中国“光刻底片”的沉默突围】#中国光刻底片的沉默突围# #观网好评# 如果把一颗芯片的诞生过程简化到极致，它更像一次极其精密的盖章。光刻机是那台盖章的机器，光当作墨水；光罩是那枚章，章面上镌刻着一层芯片电路；晶圆则是被反复盖章的纸。

一颗14纳米的逻辑芯片，要经过几十次曝光才能成型，每一层电路都要用不同的章去印。

再往上游追一步，那些还没有被刻上任何图案的空白章胚，行业里叫作光掩模基板，即Mask Blank。

它本质上就是一块巴掌大小的方形石英玻璃（如下图），尺寸多为6英寸乘6英寸乘0.25英寸，表面平整到纳米级，玻璃上按不同工艺依次镀好遮光膜、抗反射层，最后再涂一层薄薄的光刻胶。它不会自己发挥作用，它只是等待着被电子束或激光雕出图案，从而变成一枚真正的光罩。

一台光刻机再贵，一枚光罩再精密，回到最上游，全部要落到这一块方形玻璃上。 石英之下：中国“光刻底片”的沉默突围