光刻机概念股梳理： 一、整机与核心关联 • 张江高科：参股上海微电子，国内唯一前道光刻机整机厂商 • 芯碁微装：直写光刻龙头，用于先进封装、PCB • 苏大维格：微纳光学光刻机，高精度纳米光栅 二、光学系统 • 茂莱光学：光刻机核心光学部件供应商 • 福晶科技：光刻光源用非线性光学晶体龙头 • 波长光电：DUV投影物镜、光学镜头 • 奥普光电：曝光光学系统研发 • 永新光学：对准检测光学部件 三、光源 / 激光系统 • 炬光科技：光刻用光场匀化器 • 凯美特气：光刻准分子激光气 • 华特气体：高纯电子特气，适配先进制程 四、精密结构 / 真空 / 温控 • 富创精密：光刻机精密金属结构件 • 新莱应材：高纯真空、气体管路系统 • 同飞股份：高精度温控设备 • 中瓷电子：精密陶瓷零部件 • 珂玛科技：先进陶瓷、静电卡盘 五、光刻胶及配套材料 • 南大光电：ArF光刻胶量产 • 雅克科技：光刻胶、电子特气 • 广立微：光刻相关EDA、良率提升 六、控制与配套设备 • 电科数字：纳米级运动控制 • 蓝英装备：光刻胶处理、清洗系统