外泄的阿斯麦公司提供给美国政府的文件称 : 阿斯麦目前全球共有314台EUV光刻机在运行，26台已退役，没有一台在中国境内。阿斯麦公司能自动检测其EUV产品组合中的任何中断、异常行为或连接中断；因专门处理程序，客户未经阿斯麦公司参与，无法拆卸、运输和重新安置EUV设备。
EUV 光刻机是制造 7 纳米及以下高端芯片的核心设备，目前全球仅荷兰ASML 公司能量产销售，单台价格高达1.5 亿至 4 亿美元，是半导体产业链中技术壁垒最高的环节之一 。
外泄的阿斯麦公司提供给美国政府的文件称 : 阿斯麦目前全球共有314台EUV光刻机在运行，26台已退役，没有一台在中国境内。阿斯麦公司能自动检测其EUV产品组合中的任何中断、异常行为或连接中断；因专门处理程序，客户未经阿斯麦公司参与，无法拆卸、运输和重新安置EUV设备。
EUV 光刻机是制造 7 纳米及以下高端芯片的核心设备，目前全球仅荷兰ASML 公司能量产销售，单台价格高达1.5 亿至 4 亿美元，是半导体产业链中技术壁垒最高的环节之一 。
