俄罗斯NIIME与NIITM研究所已完成等离子体增强化学气相沉积（PECVD）与

浮沉济沧海 2025-12-14 01:54:26

俄罗斯NIIME与NIITM研究所已完成等离子体增强化学气相沉积（PECVD）与刻蚀工艺集成化系统的研发。该成套工艺设备可在200-300毫米晶圆上实现65纳米技术节点的集成电路制造。 ​​​ 被冻结在俄罗斯的欧洲公司的资产可能达到10万亿至15万亿卢布，理论上可用于弥补俄罗斯资金在欧盟冻结后的损失。 ​​​

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