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德国之声昨晚写道:“阿斯麦最新回应表示,从未向中国出口过极紫外光刻机及部件。此前

德国之声昨晚写道:“阿斯麦最新回应表示,从未向中国出口过极紫外光刻机及部件。此前有报道称,美国官员担心,该公司一款先进的极紫外光刻机已经流入中国。阿斯麦最先进的EUV光刻系统重达180吨,体积相当于一辆中型客车。”

EUV光刻机并非普通零部件,而是由光源、透镜、工件台等复杂系统组成,运输、安装、调试和长期维护都高度依赖原厂体系。ASML强调,相关设备从未对华发运,中国境内没有其EUV整机,这恰恰说明所谓“流入中国”缺乏可信证据。

美国若确有确凿线索,理应拿出物流、关务、安装或维护记录,而不是停留在“担心”层面。没有证据的怀疑,很容易被理解为借题发挥。其真实目的,可能不只是追查一台机器,而是在为更严厉的出口管制寻找舆论铺垫。

事实上,美国近年不断推动荷兰、日本扩大半导体设备管制范围,从EUV延伸至部分DUV,甚至波及成熟制程设备。对ASML而言,中国市场曾贡献重要收入,过度跟随美国,不仅会伤害自身商业利益,也会加剧欧洲战略自主的困境。

中国短期内确实难以绕过EUV限制,但压力也在倒逼国产替代。上海微电子、科益虹源、华卓精科、茂莱光学等企业,正在光源、工件台、光学元件等环节补链强链。国产光刻机尚未全面赶超ASML,但成熟制程自主化已具备现实基础。

我认为,所谓“EUV失踪”更像是美国为升级封锁制造的叙事。真正令华盛顿焦虑的,不是某台机器神秘流入,而是中国半导体产业链正被外部压力逼出更强韧性。封锁或许能延缓技术追赶,却无法阻止一个国家围绕供应链安全进行长期补课。