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存储最需要的、最高频的设备是什么？研究一下就能找到。其实光刻机占存储企业采购10%都不到。

堆叠设备比如TSV深硅刻蚀设备、热压键合机，国内有做的好的公司。

洁净室就不说了，说了无数次了。