真的造出来了！中国光刻机历史性突破，荷兰ASML担心的事情出现了 （阅读前请点个赞，点个关注，主页有更多你喜欢看的内容） 以前他们总靠垄断卡中国脖子的日子，这下是真要到头了。 咱上海微电子5月交付的28nm浸没式光刻机，现在已经送样给中芯国际、华虹半导体这些头部晶圆厂做工艺适配，预计今年就能量产。 这机器用的是氩氟浸没式技术，193nm波长光源配上液冷系统，等效分辨率能到134nm，不光能搞定28nm制程，还能靠多重曝光工艺支持7nm以上的芯片生产，直接补上了国内中高端光刻机的空白。 而且我们的性价比绝对占优，单台采购成本比ASML同级别产品低40%，维护响应周期还短得多，中芯国际之前一台2022年买的ASML光刻机，就因为配件断供三个月没换氟化氩激光器，良率从98%跌到82%，现在有了国产替代，再也不用看ASML的脸色。 更能体现实力的，是成熟制程的碾压式突破，上海微电子的SSX600系列光刻机，早就实现90nm及以下制程的稳定量产，截至今年，国内市场份额超80%，撑起了近30%的成熟工艺芯片产能。 这还不算完，9月刚有消息说，中芯国际正在测试上海宇量昇生产的浸没式DUV光刻机，技术路径跟ASML同源，一旦量产，就是突破美国管制的硬证据。 咱连封装领域都冒出了黑马，上海芯上微装这家今年2月才成立的公司，8月就交付了第500台步进光刻机，国内市场份额占90%，全球都冲到35%，这迭代速度，ASML看了自然揪心。 现在中国市场占了ASML三季度销售额的42%，2024年他们卖给中国的深紫外浸没式光刻机占总销量的70%，比2022年翻了快三倍。 以前ASML敢跟着美国搞管制，是吃准了中国造不出来，现在上海微电子的28nm机型要量产，2026年还要推出覆盖国内70%成熟制程需求的机型，等于直接端掉了他们的主力市场。 美国国会10月甩了份报告，说ASML2024年给中国卖了380亿美元设备，逼着全面封堵，可ASML哪敢真断供，股价当天就跌了4%，从650欧元滑到620欧元，高管温宁克赶紧表态“遵守荷兰法律，合同照旧执行”，这不是嘴硬，是真怕丢了中国市场就得破产。 更让ASML坐不住的是，中国不光造整机，还在刨它的供应链的根。 光刻机三大核心部件里，光学系统有福晶科技供货，掩膜版有清溢光电、路维光电顶上，光刻胶领域彤程新材的ArF光刻胶过了验证，南大光电都开始卖了。 连最卡脖子的光源技术，中科院光电所都搞出了全固态深紫外激光光源，193nm波长跟商用标准一致，虽然功率还差点，但胜在电能转换效率高、维护成本低，未来早晚能追上来。 哈尔滨工业大学更狠，13.5nm的极紫外光源技术能量转换效率提升50%，核心部件全国产化，今年三季度就要试产原型机，目标直指2nm制程。 ASML的供应链本就依赖全球，德国蔡司、荷兰本土中小企业哪个离得开中国订单？ 蔡司在财报会上直接摊牌“持续供货，遵守德国法律”，那些做精密轴承的小厂商更是玩起中转仓库换包装的套路，先紧着中国订单发，丢了中国客户他们就得倒闭，这供应链根本封不住。 美国想帮ASML站台，结果反而把他们架在了火上。 美国国会报告里点名东京电子、Lam Research这些企业，说他们对华营收占比都超40%，可欧盟根本不买账，2024年中国都成了欧盟最大贸易伙伴，半导体产业全靠中国订单拉动。 更别说中国10月9日还出台了稀土出口新机制，含稀土成分超0.1%的磁体都要审批，而光刻机核心部件全靠高纯度稀土，ASML嘴上说库存够，实际交付都延迟了，供应链成本涨了一大截，这才是真正的釜底抽薪。 有人说咱的“EUV还没造出来，不算真突破”，这话太浅了。 ASML的垄断靠的是“整机+供应链+市场”的三重壁垒，现在中国把整机突破了，供应链在补，市场在抢，等于在他们的壁垒上凿开了大口子。 以前ASML卖设备不仅赚机器钱，还靠维修、配件持续薅羊毛，中芯国际那台光刻机断供配件就掉良率的事，以后再也不会成常态了。 国家大基金三期3440亿注册资本全往光刻机砸，深圳、辽宁还有专项政策支持，这种举国之力的攻坚，ASML单靠一家企业怎么扛？ 所以ASML担心的根本不是一台28nm光刻机，是中国打破技术垄断的决心和能力。 以前他们说“就算给图纸中国也造不出光刻机”，现在中国不仅造出来了，还能更便宜、响应更快，这才是最让他们担心的。 美国的施压、荷兰的摇摆，不过是旧霸权的最后挣扎，中国光刻机既然能从0走到28nm量产，就早晚能走到EUV的舞台，到时候ASML再想靠垄断吃饭，可就真没机会了。
